Безмасляный воздушный компрессор для лабораторий полупроводников

Для создания надежных инженерных коммуникаций для прецизионных исследовательских центров используйте китайских поставщиков безмасляных воздушных компрессоров для лабораторий полупроводников. В решениях для воздуха высокой чистоты компании DECHUAN используются многослойные углеродные изолирующие уплотнения для удаления следов углеводородов, обеспечивая безупречное качество газа для критического травления кремния.

Критические требования к чистоте газа в чистых помещениях

В производстве полупроводников и тонкопленочной литографии даже одна микроскопическая капля паров масла, пронесенная по воздуховоду, может испортить всю производственную партию. Этот специализированный продукт разработан в соответствии с самыми высокими стандартами чистоты:

• Сертифицированная TÜV подача воздуха класса 0: наши системы проходят строгие испытания при различных рабочих температурах. Независимый анализ подтверждает абсолютное отсутствие следов масла в потоке выходящего воздуха.

• Внутренние воздушные каналы, не подверженные коррозии. Каждый элемент трубопровода, связка охладителя и сепарационная матрица после камеры сжатия изготовлены из высококачественной нержавеющей стали, что предотвращает загрязнение воздухопроводов чистых помещений хлопьями ржавчины.

• Расширенная интеграция Elektronikon®: встроенный контроллер внимательно отслеживает рабочие показатели и обеспечивает упреждающее безопасное отключение, чтобы гарантировать, что в лабораторную сеть никогда не попадет загрязненный воздух.

Высокая стоимость микрозагрязнений в электронике

При производстве полупроводниковых пластин одна капля масляного аэрозоля может загрязнить все чистое помещение, испортив тысячи кремниевых пластин и повлекя за собой миллионы потерь производственного времени. Традиционные воздушные компрессоры не могут гарантировать абсолютную чистоту с нулевым содержанием углеводородов, необходимую для этих процессов нанометрового масштаба.

Специализированный безмасляный воздушный компрессор для лабораторий полупроводников гарантирует полную безопасность процесса:

• Сертифицированный воздушный поток КЛАСС 0: Протестировано строго TÜV в экстремальных диапазонах температур и давлений, чтобы гарантировать абсолютное отсутствие масла.

• Внутренние части не содержат твердых частиц: предварительные охладители из нержавеющей стали и теплообменники со звездообразными ребрами исключают образование хлопьев окисления или выделение химикатов в воздушном тракте.

• Электронный контрольный щит: упреждающие сигналы технического обслуживания и автоматическое отключение при неисправности предотвращают отклонения в системе до того, как они достигнут инструментов в чистых помещениях.

Параметры технической чистоты

• Номинальная мощность системы: 55–900 кВт в конфигурациях с высокой плотностью размещения.

• Объемная скорость подачи: 4,2–148,5 м³/мин, выход чистого потока.

• Классификация содержания масла: ISO 8573-1, класс 0, проверка отсутствия масла.

• Схема охлаждения: жидкостное охлаждение из нержавеющей стали, предотвращающее выделение химических веществ.

Эталонные условия производительности агрегата были измерены в соответствии с Приложением C, 4-е издание (2009 г.) стандарта ISO 1217:

· Относительная влажность: 0%

· Абсолютное давление на входе: 1 бар

· Температура на входе: 20°C Скорость нагнетания (FAD) измерялась при следующих рабочих давлениях:

Тип постоянной скорости:

· Тип -7,5 бар: 7 бар

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип ВСД:

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10,4 бар: 9 бар

· (2) Взвешенный уровень звукового давления выбросов класса А рабочей станции (LpWSAd). Измерено в соответствии со стандартом ISO 2151:2004 (с использованием метода сканирования интенсивности звука 150 9614/2). Недавно добавленный поправочный коэффициент представляет собой совершенно неопределенное значение (KpAd), соответствующее тестовому коду.

· (3) Вес указан только для справки; Фактический поставляемый вес имеет преимущественную силу.

ЗР/ЗТ 110-160 (ФФ) СТД

В соответствии с Приложением C ISO 1217, 4-е издание (2009 г.), исходные условия производительности агрегата следующие:

· Относительная влажность: 0%

· Абсолютное давление на входе: 1 бар

· Температура на входе: 20°C

Рабочий объем FAD измеряется при следующих рабочих давлениях:

Модели с постоянной скоростью:

Модели -7,5 бар: 7 бар

Модели -8,6 бар: 7 бар

Модели -10 бар: 9 бар

Модели ВСД:

Модели -8,6 бар: 7 бар

Модели -10,4 бар: 9 бар

(2) Взвешенный уровень звукового давления выбросов класса А рабочей станции (LpWSAd). Измерено в соответствии со стандартом ISO 2151:2004 (метод сканирования интенсивности звука ISO 9614/2). Недавно добавленный поправочный коэффициент KpAd является неопределенным и соответствует тестовому коду.

(3) V1=380В, V2=400В.

(4) Вес указан только для справки; Фактический вес имеет преимущественную силу.

ЗР/ЗТ 200-275 (ФФ)

-Относительная влажность: 0%

-Абсолютное давление на входе: 1 бар.

-Температура на входе: 20°℃

Скорость разряда (FAD) измерялась при следующих рабочих давлениях:

Тип постоянной скорости:

Тип -7,5 бар: 7 бар

Тип -8,6 бар: 7 бар

Тип -10 бар: 9 бар

Тип преобразователя частоты:

Тип -8,6 бар: 7 бар

Тип -10,4 бар: 9 бар

(2) Взвешенный уровень звукового давления выбросов класса А рабочей станции (LpWSAd).

Измерено в соответствии со стандартом ISO 2151:2004 (с использованием 150 9614/2 (метод сканирования интенсивности звука).

Недавно добавленный поправочный коэффициент представляет собой совершенно неопределенное значение (KpAd), соответствующее тестовому коду.

(3) Вес указан только для справки; Фактический поставляемый вес имеет преимущественную силу.

ЗР 300-750

Эталонные условия производительности агрегата были измерены в соответствии с Приложением C, 4-е издание (2009 г.) стандарта ISO 1217:

· Относительная влажность: 0%

· Абсолютное давление на входе: 1 бар

· Температура на входе: 20°C Скорость нагнетания (FAD) измерялась при следующих рабочих давлениях:

Тип постоянной скорости:

· Тип -7,5 бар: 7 бар

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип ВСД:

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10,4 бар: 9 бар

· (2) Взвешенный уровень звукового давления выбросов класса А рабочей станции (LpWSAd). Измерено в соответствии со стандартом ISO 2151:2004 (с использованием метода сканирования интенсивности звука 150 9614/2). Недавно добавленный поправочный коэффициент представляет собой совершенно неопределенное значение (KpAd), соответствующее тестовому коду.

· (3) Вес указан только для справки; Фактический поставляемый вес имеет преимущественную силу.

ЗР 200Х-400Х

Эталонные условия производительности агрегата были измерены в соответствии с Приложением C, 4-е издание (2009 г.) стандарта ISO 1217:

· Относительная влажность: 0%

· Абсолютное давление на входе: 1 бар

· Температура на входе: 20°C Скорость нагнетания (FAD) измерялась при следующих рабочих давлениях:

Тип постоянной скорости:

· Тип -7,5 бар: 7 бар

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10 бар: 9 бар

Тип ВСД:

· Тип -8,6 бар: 7 бар

· Тип -10,4 бар: 9 бар

· (2) Взвешенный уровень звукового давления выбросов класса А рабочей станции (LpWSAd). Измерено в соответствии со стандартом ISO 2151:2004 (с использованием метода сканирования интенсивности звука 150 9614/2). Недавно добавленный поправочный коэффициент представляет собой совершенно неопределенное значение (KpAd), соответствующее тестовому коду.

· (3) Вес указан только для справки; Фактический поставляемый вес имеет преимущественную силу.

Пример использования лаборатории в чистых помещениях

Производитель электроники в Азии установил специализированную воздушную систему DECHUAN для подачи контуров генерации азота высокой чистоты и пневматических испытательных рычагов. Раньше стандартные компрессоры позволяли следам масляных паров мигрировать мимо встроенных фильтров, покрывая литографические линзы и вызывая микротрещины в покрытиях пластин. После установки безмасляного воздушного компрессора для лабораторий по производству полупроводников лаборатория сообщила о нулевых случаях загрязнения линий, связанных с маслом, что позволило существенно сэкономить на очистке чистых помещений и повторной калибровке за два года непрерывной работы.

Адаптация и контроль пользовательских компонентов

• Модернизация материала из нержавеющей стали: мы заменяем все стандартные внутренние литые компоненты на высококачественную нержавеющую сталь, чтобы соответствовать строгим требованиям по предотвращению микрозагрязнений.

• Расширенные протоколы связи. В устройство предварительно загружены специализированные протоколы связи, позволяющие центрам управления чистыми помещениями удаленно контролировать показатели воздуха.

• Компактная конструкция: внутренняя планировка оптимизирована для минимизации занимаемой площади, что упрощает установку в тесных подвальных помещениях лаборатории.

Часто задаваемые вопросы для промышленных покупателей

Вопрос: Можем ли мы подключить этот компрессор напрямую к контурам фильтрации сверхвысокой чистоты (UHP)?

О: Да, наша производительность воздуха полностью совместима с современными осушителями для чистых помещений и системами субмикронной фильтрации частиц. Поскольку сырой воздух не содержит паров масла, ваши специализированные фильтры в точках использования не засоряются масляным туманом, что продлевает срок службы фильтров.

Вопрос: Как уплотнения типа Z обеспечивают нулевую миграцию масла из узла шестерни?

A: Безмасляный воздушный компрессор для лабораторий полупроводников имеет физическое вентиляционное пространство между смазываемым маслом корпусом редуктора и сухой камерой сжатия. Специальные бесконтактные графитовые кольцевые уплотнения в сочетании с каналами отрицательного давления обеспечивают полную блокировку попадания тумана трансмиссионного масла в поток чистого воздуха.

Вопрос: Что произойдет, если внутренний датчик температуры обнаружит ненормальные показания?

Ответ: Контроллер Elektronikon® собирает важные данные несколько раз в секунду. Если на каком-либо этапе обнаруживается скачок температуры, система мгновенно запускает автоматическое отключение и закрывает запорные клапаны, гарантируя, что неохлажденный воздух никогда не попадет в чувствительное оборудование вашей лаборатории.